GERÄTE
Insight IS-350
Hochauflösendes digitales akustisches Mikroskop Insight IS-350
- Neuentwicklung mit extra rauscharmem linearen Servomotor
- Maximale Scangeschwindigkeit 1000 mm/sec
- Auflösung in Richtung der Scan-Achse (x): 0.5 µm
- Aufsteckbare Halterung für Benutzung getrennter Transducer für Emission und Detektion ("through mode“)
- Polyvalente Scanmechanik: Erlaubt die Benutzung des Geräts sowohl mit Standard-Transducern als auch mit Komponenten zur Ultraschallaufnahme mittels Laser
- Scanfläche: 350 x 350 mm, Auflösung des Encoders 0.5 µm
- Die Scanfläche erlaubt die Inspektion eines 300mm Wafers, oder die simultane Inspektion von zwei JEDEC trays
- Fokusachse (Z): Verstellweg 50 mm, Auflösung 0.5 µm
- Motorisierung :
- X-Achse : Rauscharmer linearer Servomotor
- Y-Achse : Schrittmotor
- Z-Achse : Schrittmotor
- Abmessung: 680 x 800 x 1320 mm ( Breite x Tiefe x Höhe)
